用于显示装置的薄膜晶体管阵列板的制造方法

摘要

公开了一种用于显示装置的薄膜晶体管阵列板的制造方法。该阵列板在ITO薄膜和有机绝缘薄膜之间具有良好的粘附性，并可减少ITO薄膜通过接触与导线电连接时在接触处的接触电阻。该方法包括以下步骤。在形成于基底上的薄膜晶体管上沉积保护层。有机绝缘层形成在保护层上并被构图，以形成露出保护层并与薄膜晶体管的漏极相对的第一接触孔。使用惰性气体通过等离子体工艺对该有机绝缘层进行表面处理，以在它的表面形成不同的图形。对该保护层构图，以形成露出漏极并位于第一接触孔内部的第二接触孔。形成经由第一和第二接触孔电连接到漏极的像素电极。

主权项

1.一种用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列板的制造方法，该方法包括：形成包括栅极布线及连接到所述栅极布线的栅电极的栅极线；沉积栅极绝缘层；形成半导体层；形成包括与所述栅极布线相交从而限定出像素区域的数据布线、连接到所述数据布线并靠近所述栅电极设置的源电极、以及相应于所述栅电极与所述源电极相对设置的漏极的数据线；沉积覆盖所述数据线的保护层；通过将有机绝缘材料旋转涂覆在所述保护层上形成有机绝缘层；对所述有机绝缘层构图，以形成暴露所述保护层并与所述漏极相对的第一接触孔；利用惰性气体通过等离子体工艺对所述有机绝缘层表面进行处理；对所述保护层构图，以形成暴露所述漏极并被定位在所述第一接触孔内的第二接触孔；以及形成通过所述第一和第二接触孔电连接到所述漏极的像素电极。