| 发明名称 | 光碟原版制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明是有关于一种光碟原版制作方法，其包括沉积一硬遮罩层于一基板上，涂布一蚀刻速率大于硬遮罩层的蚀刻速率的光阻层于硬遮罩层之上，激光刻版光阻层及硬遮罩层并进行显影，蚀刻基板并移除光阻层，以及移除硬遮罩层。 | ||
| 申请公布号 | CN100378842C | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200510059970.X | 申请日期 | 2005.04.04 |
| 申请人 | 精碟科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡正原;谢忠勤 |
| 分类号 | G11B7/26(2006.01) | 主分类号 | G11B7/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1.一种光碟原版制作方法，其特征在于其包括下列步骤：沉积一硬遮罩层于一基板上；涂布一蚀刻速率大于该硬遮罩层的蚀刻速率的光阻层于该硬遮罩层之上；激光刻版该光阻层及该硬遮罩层并进行显影；蚀刻该基板并移除该光阻层；以及移除该硬遮罩层。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||