| 发明名称 |
Manipulator for an optical or particle/optical device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1351271(B1) |
申请公布日期 |
2008.04.02 |
| 申请号 |
EP20030002448 |
申请日期 |
2003.02.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
MUELLER, HELMUT;TOBIAS, DANIEL |
| 分类号 |
H01J37/20;G02B21/32;H01J37/09;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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