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发明名称 PROBE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100819258(B1) 申请公布日期 2008.04.02
申请号 KR20000082747 申请日期 2000.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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