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发明名称 SYSTEM FOR SUPPORTING AND ROTATING A SUSCEPTOR INSIDE A TREATMENT CHAMBER OF A WATER TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1905063(A1) 申请公布日期 2008.04.02
申请号 EP20050778667 申请日期 2005.07.21
申请人 LPE SPA 发明人 POZZETTI, VITTORIO;CRIPPA, DANILO;PRETI, FRANCO
分类号 H01L21/00;C23C16/458;C30B25/12 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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