发明名称 |
制作半导体芯片主面和背面上包括电极的半导体器件方法 |
摘要 |
一种制作半导体芯片(10)的方法,包括:制作半导体晶片(100),使得该半导体晶片(100)的主面和背面取向类似于将从该半导体晶片(100)中分割出的半导体芯片(10)的主面和背面的取向。在半导体晶片(100)的背面上形成电极(13)。在半导体晶片(100)的主面上形成另一电极(12),同时将晶片(100)的背面固定到支撑衬底(200)。切割半导体晶片(100),以形成半导体芯片(10)。 |
申请公布号 |
CN100378921C |
申请公布日期 |
2008.04.02 |
申请号 |
CN200510006371.1 |
申请日期 |
2005.01.28 |
申请人 |
株式会社电装 |
发明人 |
平野尚彦;三浦昭二;新美彰浩 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L21/56(2006.01);H01L23/12(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
傅康;梁永 |
主权项 |
1.一种制作半导体芯片(10)的方法,包括:制作半导体晶片(100),该半导体晶片(100)其主面和背面取向类似于将从该半导体晶片(100)中分割出的半导体芯片(10)的主面和背面的取向;在半导体晶片(100)的背面上形成电极(13);在半导体晶片(100)的主面上形成电极(12),同时将半导体晶片(100)的背面固定到支撑衬底(200),以及切割半导体晶片(100),以形成半导体芯片(10)。 |
地址 |
日本爱知县 |