发明名称 制作半导体芯片主面和背面上包括电极的半导体器件方法
摘要 一种制作半导体芯片(10)的方法,包括:制作半导体晶片(100),使得该半导体晶片(100)的主面和背面取向类似于将从该半导体晶片(100)中分割出的半导体芯片(10)的主面和背面的取向。在半导体晶片(100)的背面上形成电极(13)。在半导体晶片(100)的主面上形成另一电极(12),同时将晶片(100)的背面固定到支撑衬底(200)。切割半导体晶片(100),以形成半导体芯片(10)。
申请公布号 CN100378921C 申请公布日期 2008.04.02
申请号 CN200510006371.1 申请日期 2005.01.28
申请人 株式会社电装 发明人 平野尚彦;三浦昭二;新美彰浩
分类号 H01L21/28(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L21/56(2006.01);H01L23/12(2006.01) 主分类号 H01L21/28(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 傅康;梁永
主权项 1.一种制作半导体芯片(10)的方法,包括:制作半导体晶片(100),该半导体晶片(100)其主面和背面取向类似于将从该半导体晶片(100)中分割出的半导体芯片(10)的主面和背面的取向;在半导体晶片(100)的背面上形成电极(13);在半导体晶片(100)的主面上形成电极(12),同时将半导体晶片(100)的背面固定到支撑衬底(200),以及切割半导体晶片(100),以形成半导体芯片(10)。
地址 日本爱知县