| 发明名称 | 自动传输线脉冲系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种测量半导体元件的静电放电(ESD)特性的自动传输线脉冲系统，包括至少一个产生ESD级脉冲的脉冲产生器；半导体元件的第一端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第一ESD级脉冲；半导体元件的第二端点用以相对于第一端点接地；半导体元件的至少一个第三端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第二ESD级脉冲；以及一个资料收集器用以收集半导体元件的ESD特性，在上述第一ESD级脉冲到达第一端点的同时，上述第二ESD级脉冲到达上述至少一个第三端点。以获得更多的有关ESD防护元件的ESD特性资料。 | ||
| 申请公布号 | CN100378464C | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200410062870.8 | 申请日期 | 2004.07.02 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 柯明道;张智毅;侯春麟 |
| 分类号 | G01R31/26(2006.01);G01R31/00(2006.01);G08C19/16(2006.01) | 主分类号 | G01R31/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 1.一种测量半导体元件的静电放电ESD特性的系统，包括：至少一个产生ESD级脉冲的脉冲产生器；半导体元件的第一端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第一ESD级脉冲：半导体元件的第二端点用以相对于第一端点接地；半导体元件的至少一个第三端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第二ESD级脉冲；以及一个资料收集器用以收集半导体元件的ESD特性，在上述第一ESD级脉冲到达第一端点的同时，上述第二ESD级脉冲到达上述至少一个第三端点。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号 | ||