凸块测试单元、装置及测试方法

摘要

一种凸块测试单元包括：一支撑基板，设置有至少两探针，该些探针突出于该支撑基板之一表面；以及一数位侦测装置，埋设于该支撑基板内。其中该数位侦测装置包括一第一输入端子；一第二输入端子；以及一输出端子，其中该第一输入端子电性连结于该些探针之一。本发明亦提供了一种凸块测试装置与测试方法。