| 摘要 |
本文提出一种管理制程的方法以及一种制程管理系统，于其中可迅速侦测产生失效之制程步骤。所述管理制程的方法包括对于多个晶圆依序执行第一至第 n（n为自然数）制程步骤，处理所述多个晶圆的次序在所述 n 个制程步骤中之每一者中彼此不同。计算所述多个晶圆的特征参数值，计算第一至第 n 关系，所述第一至第 n 关系表示所述第一至第 n 制程次序或所述特征参数值之间的相互关系，对所述第一至第 n 关系执行傅立叶变换以便计算第一至第 n 转换关系，以及使用所述第一至第 n 转换关系来确定所述第一至第 n 关系当中的图案之存在。 |
