具有增加之有关对准和特征成形的弹性的奈米压印技术

摘要

藉由根据可共同地形成通孔开孔(via opening)及沟槽之压印技术而形成金属化结构，可因省略了传统制程技术中需要至少一另外的对准制程，而使制程复杂性获得显着的降低。此外，亦可藉由提供被适当设计的压印模具而增加压印微影术的弹性及效率，以便提供展现增加的填充能力之通孔开孔及沟槽，也因而改善了最后得到的金属化结构有关可靠性及对电迁移的抗性等之效能。