调整机构

摘要

一种探针卡总成，它可包含一可直接或间接地加上多支探针的支撑结构。可将该等探针配置成能与一待试验电子装置接触。该探针卡总成可进一步包含数个致动器，可将该等致动器组态成可选择性地改变该支撑结构相对于一参考结构的姿态。该探针卡总成也可包含多个可锁定柔性结构。在未被锁住时，该等可锁定柔性结构允许该支撑结构与该参考结构可相对移动。不过，在锁住时，该等柔性结构对于该支撑结构相对于该参考结构的运动可提供机械抵抗力。