流延装置、溶液流延设备及溶液流延方法

摘要

在制造薄膜之流延方法中，流延涂布液经流延模出口排出。在流延模中排列唇板与内定框板使得各内定框板下端可在流延模出口之侧缘处形成突出。各突出距唇板底部之长度为最大 9 微米。如此减少流延涂布液经涂布液通道保留在接近出口，因此流延涂布液不发生结皮。