奈米碳管成长用基板、奈米碳管成长方法、奈米碳管成长用触媒之粒径控制方法、及奈米碳管管径之控制方法

摘要

提供奈米碳管成长用基板、 CNT 成长方法、 CNT 用触媒之粒径控制方法、及 CNT 径之控制方法。系具有利用电弧电浆枪实施微粒子化之触媒层之基板。于该触媒层上，利用热 CVD 法或远端电浆 CVD 法，实施 CNT 之成长。利用电弧电浆枪之射注数来控制触媒之粒径。于该触媒粒径受到控制之触媒层上，利用热 CVD 法或远端电浆 CVD 法，实施奈米碳管之成长，控制其内径或外径。