使用零空间以及方法最佳化技术来获得用于模板变形之力组合的方法

摘要

本发明系有关一用以决定一图案状装置所将经历的变形参数以尽量降低一经记录图案与一参考图案之间的维度变异之方法，该方法特别包括：比较经记录图案的特征结构相对于参考图案的对应特征结构之间的空间性变异；及决定施加至图案状装置以衰减维度变异之变形力，其中力具有预定拘束，其中力的一量值之一加总系实质为零且力的力矩之一加总系实质为零。