发明名称 B-阶晶粒接着黏合剂
摘要 本发明系关于b-阶晶粒接着黏合剂、制备此黏合剂之方法、将此黏合剂应用在晶粒及其他基板表面之方法及由其所制成连接微电子电路之套组。
申请公布号 TWI295312 申请公布日期 2008.04.01
申请号 TW092133034 申请日期 2003.11.25
申请人 汉柯尔乐泰公司 发明人 黛博拉D. 弗瑞;班尼迪托P. 迪罗斯 森多斯;刘普卫
分类号 C09J4/00(2006.01);H01L21/58(2006.01) 主分类号 C09J4/00(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种b-阶可固化组合物,其包含: a.可在第一温度下热固化之固体组份; b.液体组份,其可在第二温度下热固化或可在电磁 波谱之辐射的照射下固化;及 c.可用于固体可固化组份之热固化触媒。 2.如申请专利范围第1项之组合物,其中该固体可固 化组份的熔点范围系低于该固体可固化组份固化 的温度。 3.如申请专利范围第1项之组合物,其中该固体可固 化组份的熔点范围实质上系与该固体可固化组份 固化之温度相同。 4.如申请专利范围第1项之组合物,另包含一反应性 稀释剂。 5.如申请专利范围第1项之组合物,其中该组合物实 质上不含非反应性溶剂。 6.如申请专利范围第1项之组合物,另包含溶剂。 7.如申请专利范围第1项之组合物,另包含一填充剂 。 8.如申请专利范围第7项之组合物,其中该填充剂是 传导的。 9.如申请专利范围第7项之组合物,其中该填充剂是 导热的。 10.如申请专利范围第7项之组合物,其中该填充剂 是导电的。 11.如申请专利范围第7项之组合物,其中该填充剂 是非传导的。 12.如申请专利范围第7项之组合物,其中该填充剂 的粒径系小于约50微米。 13.如申请专利范围第1项之组合物,另包含一光起 始剂。 14.如申请专利范围第13项之组合物,其中该光起始 剂系选自由可藉电磁波谱中位于UV、UV/VIS、VIS、IR 、E-束、X-射线及微波范围之辐射引发的触媒所组 成之群。 15.如申请专利范围第1项之组合物,其中热硬化触 媒系选自由自由基触媒、阴离子固化剂、阳离子 固化剂及其组合物组成之群。 16.如申请专利范围第15项之组合物,其中该自由基 触媒系选自由过氧化物、偶氮化合物及其组合物 组成之一员。 17.如申请专利范围第15项之组合物,其中该阴离子 固化剂系选自由化合物、胺化合物、咪唑化合 物及其组合物组成之一员。 18.如申请专利范围第17项之组合物,其中该化合 物包含一或多个选自由下列化合物组成之成员 1,5-二双环[4.3.0]壬-5-烯 1,8-二双环[5.4.0]十一-5-烯(DBU) 1,5,7-三双环[4.4.0]癸-5-烯 环 1,4-二双环[2.2.2]辛烷 19.如申请专利范围第17项之组合物,其中该胺化合 物包含一或多个选自由脂族聚胺、芳族聚胺、脂 环聚胺及其组合物组成之成员。 20.如申请专利范围第17项之组合物,其中该胺化合 物包含一或多个选自由二伸乙基三胺、三伸乙基 四胺、二乙基胺丙基胺、苯甲基二甲基胺、间-二 甲苯二胺、二胺二苯基胺、喔、异佛尔酮二 胺、烯二胺及其组合物组成之群的成员。 21.如申请专利范围第17项之组合物,其中该咪唑化 合物包含一或多个选自由异咪唑,咪唑、2-乙基-4- 甲基咪唑、2,4-二甲基咪唑、丁基咪唑、2-十七碳 烯-4-甲基咪唑、2-甲基咪唑、2-十一碳烯咪唑、1- 乙烯基-2-甲基咪唑、2-十一基咪唑、2-十七基咪唑 、2-苯基咪唑、1-苯甲基-2-甲基咪唑、1-丙基-2-甲 基咪唑、1-氰乙基-2-甲基咪唑、1-氰乙基-2-乙基-4- 甲基咪唑、1-氰乙基-2-十一基咪唑、1-氰乙基-2-苯 基咪唑、1-胍胺乙基-2-甲基咪唑、咪唑与甲基咪 唑之加成产物、咪唑与偏苯三酸之加成产物、2- 正十七基-4-甲基咪唑、苯基咪唑、苯甲基咪唑、2 -甲基-4,5-二苯基咪唑、2,3,5-三苯基咪唑、2-苯乙 烯基咪唑、1-(十二基苯甲基)-2-甲基咪唑、2-(2-羟 基-4-第三丁基苯基)-4,5-二苯基咪唑、2-(2-甲氧基 苯基)-4,5-二苯基咪唑、2-(3-羟基苯基)-4,5-二苯基 咪唑、2-(对-二甲基胺基苯基)-4,5-二苯基咪唑、2-( 2-羟基苯基)-4,5-二苯基咪唑、二(4,5-二苯基-2-咪唑 )-苯-1,4、2-基-4,5-二苯基咪唑、1-苯甲基-2-甲基 咪唑、2-对-甲氧基苯乙烯基咪唑及其组合物组成 之成员。 22.如申请专利范围第15项之组合物,其中该阳离子 固化剂是选自由有机酸、酸酐、路易士(Lewis)酸及 其组合物组成之一员。 23.如申请专利范围第22项之组合物,其中该有机酸 是选自由酚、硫酚、硫醇、羧酸及其组合物组成 之一员。 24.如申请专利范围第1项之组合物,其另包含用于 液体可固化组份之第二热固化触媒。 25.如申请专利范围第24项之组合物,其中藉由第二 热固化触媒固化液体可固化组份系发生在约50℃ 至约150℃之温度范围内,而藉由第一热固化触媒固 化固体可固化组份系发生在约100℃至约300℃之温 度范围内。 26.如申请专利范围第24项之组合物,其中藉由第二 热固化触媒固化液体可固化组份系发生在低于约 100℃之温度下,而藉由第一热固化触媒固化固体可 固化组份系发生在高于约100℃之温度下。 27.如申请专利范围第1项之组合物,其中该液体可 固化组份包含环氧化物、环硫化物、马来醯亚胺 、二羧醯亚胺、伊康醯亚胺、(甲基)丙烯酸酯、 乙烯基醚、乙烯基酯、苯乙烯及其衍生物、聚(伸 烯基)、烯丙醯胺、降冰片烯、硫醇及其组合物。 28.如申请专利范围第1项之组合物,其中该固体可 固化组份包含环氧化物、环硫化物、马来醯亚胺 、二羧醯亚胺、伊康醯亚胺、(甲基)丙烯酸酯、 乙烯基醚、乙烯基酯、苯乙烯及其衍生物、聚(伸 烯基)、烯丙醯胺、降冰片烯、硫醇及其组合物。 29.如申请专利范围第1项之组合物,其中该液体可 固化组份是一种含马来醯亚腔化合物、含伊康醯 亚胺化合物或含二羧醯亚胺化合物,包含 其中: m=1至15, p=0至15, R2各系独立地选自氢或低碳烷基,且 J是含有有机或有机矽氧烷基之单价或多价部份和 其两或多个部分之组合物。 30.如申请专利范围第1项之组合物,其中该液体可 固化组份是一种具有结构I、II及III之含马来醯亚 胺化合物、含伊康醯亚胺化合物或含二羧醯亚胺 化合物,其中: m=1至6, p=0, R2系独立地选自氢或低碳烷基,且 J是选自下列基团之单价或多价基:烃基、经取代 烃基、含杂原子烃基、经取代含杂原子烃基、伸 烃基、经取代伸烃基、含杂原子伸烃基、经取代 含杂原子伸烃基、聚矽氧烷、聚矽氧烷-聚胺基甲 酸酯嵌段共聚物和其两或多个之组合物,视情况包 含一或多个连接基,其中该连接基系选自共价键、 -O-、-S-、-NR-、-O-C(O)-、-O-C(O)-O-、-O-C(O)-NR-、-NR-C(O )-、-NR-C(O)-O-、-NR-C(O)-NR-、-S-C(O)-、-S-C(O)-O-、-S-C(O )-NR-、-S(O)-、-S(O)2-、-O-S(O)2-、-O-S(O)2-O-、-O-S(O)2-NR -、-O-S(O)-、-O-S(O)-O-、-O-S(O)-NR-、-O-NR-C(O)-、-O-NR-C( O)-O-、-O-NR-C(O)-NR-、-NR-O-C(O)-、-NR-O-C(O)-O-、-NR-O-C(O )-NR-、-O-NR-C(S)-、-O-NR-C(S)-O-、-O-NR-C(S)-NR-、-NR-O-C(S )-、-NR-O-C(S)-O-、-NR-O-C(S)-NR-、-O-C(S)-、-O-C(S)-O-、-O -C(S)-NR-、-NR-C(S)-、-NR-C(S)-O-、-NR-C(S)-NR-、-S-S(O)2- 、-S-S(O)2-O-、-S-S(O)2-NR-、-NR-O-S(O)-、-NR-O-S(O)-O-、- NR-O-S(O)-NR-、-NR-O-S(O)2-、-NR-O-S(O)2-O-、-NR-O-S(O)2-NR- 、-O-NR-S(O)-、-O-NR-S(O)-O-、-O-NR-S(O)-NR-、-O-NR-S(O)2-O- 、-O-NR-S(O)2 -NR-、-O-NR-S(O)2-、-O-P(O)R2-、-S -P(O)R2-、-NR-P(O)R2-,其中R各独立地为氢、烷基或经 取代烷基和其任两或多个之组合物。 31.如申请专利范围第1项之组合物,其中该固体可 固化组份是一种在室温下呈固态之含马来醯亚腔 化合物、含伊康醯亚胺化合物或含二羧醯亚胺化 合物。 32.如申请专利范围第31项之组合物,其中该含马来 醯亚胺化合物、含伊康醯亚胺化合物或含二羧醯 亚胺化合物是一种固体并包含: 其中: m=1至15, p=0至15, R2各系独立地选自氢或低碳烷基,且 J是含有有机或有机矽氧烷基之单价或多价部份和 其两或多个部分之组合物。 33.如申请专利范围第1项之组合物,其中该含马来 醯亚胺化合物、含伊康醯亚胺化合物或含二羧醯 亚胺化合物包含分别连接至单价基团之马来醯亚 胺官能基、伊康醯亚胺官能基或二羧醯亚胺官能 基,或分别被多价基团隔开之马来醯亚胺官能基、 伊康醯亚胺官能基或二羧醯亚胺官能基,各单价基 团或多价基团具有足够长度及分枝以使含马来醯 亚胺化合物、含伊康醯亚胺化合物或含二羧醯亚 胺化合物分别成为液体。 34.一种制备如申请专利范围第1项之组合物的方法 ,其步骤包括 a.提供可在第一温度下热固化之固体可固化组份 、可在第二温度下热固化或可在电磁波谱之辐射 的照射下固化之液体可固化组份及用于该固体可 固化组份之热固化触媒;并且 b.将该固体可固化组份、液体可固化组份及热固 化触媒混合在一起。 35.如申请专利范围第34项之方法,另包括 c.将该组合物曝露在有利于进行液体可固化组份 之固化的条件下。 36.如申请专利范围第35项之方法,另包括 d.将该组合物曝露在足以熔化该固体可固化组份 之温度条件下。 37.如申请专利范围第36项之方法,另包括 e.将该组合物曝露在足以固化该已熔化、固体可 固化组份之温度条件下。 38.一种黏接第一基板至第二基板之方法,该方法包 括: a.如申请专利范围第1项之组合物涂布在该第一基 板或该第二基板中之一或两者; b.将涂有组合物之基板曝露在有利于进行其液体 可固化组份之固化的条件下,因此形成b-阶可固化 膜; c.将b.之b-阶可固化膜曝露在足以熔化其固体可固 化组份之温度条件下; d.连接该第一基板与该第二基板以形成一套组,其 中该第一基板与该第二基板系被a中所涂组合物隔 开;且 e.将c.之可固化膜曝露在足以固化已熔化、固体可 固化组份之温度条件下。 39.如申请专利范围第38项之方法,其中该第一基板 是一晶粒片。 40.如申请专利范围第38项之方法,其中该第一基板 及该第二基板是晶粒片。 41.如申请专利范围第38项之方法,其中该第一基板 是一电路板。 42.如申请专利范围第38项之方法,其中该第一基板 是一无阻焊剂层之电路板。 43.如申请专利范围第38项之方法,其中该第一基板 是一具有阻焊剂层之电路板。 44.一种如申请专利范围第1项之b-阶可热固化组合 物之用途,其系用于包含半导体晶片之制品中,其 中所提供的半导体晶片系用于与另一半导体晶片 或载体基板黏接及电互连,该半导体晶片具有第一 面及第二面,其中该第一面具有依预定图案排列其 上之电接触垫以分别提供与另一半导体晶片或载 体基板之电接合,该第二面系具有如申请专利范围 第1项之b-阶可热固化组合物分布在一层或其一部 分上。 图式简单说明: 图1系图式表示一个本发明具体实施例中,与基板 组合前之半导体晶片。 图2系图式表示包含图1半导体晶片组装在基板上 之电路套组。 图3系图式表示另一个本发明具体实施例中,包含 半导体晶片组装成晶片尺寸封装体之电路套组。 图4系图式表示堆叠晶粒片应用。
地址 美国