| 摘要 |
提供可缩短检查时间，提高以检查为目的之电路之效率之基板检查装置。该检查装置 21 ，具备：第 1 及第2 电流供应端子 22、 23、第 1 及第 2 电压计测端子 24、 25、电流供应部 26、电压计测部 27、以及电压安定手段 28，用以实施配设着复数配线图案 29 之基板之检查。电压安定手段 28 电性连结于第 2 电压计测端子 25，用以安定该第 2 电压计测端子 25 及配线图案 29 之电压计测端子 25 之接触部之电压。具备而言，电压安定手段 28 之构成上，具备运算放大器 41。 |
