发明名称 具有槽沟的源体短路电极的、逆槽沟和源极接地的场效应电晶体结构
摘要 本发明披露一种底源横向扩散式 MOS(BS-LDMOS)器件。该器件的源区横向设置,跟半导体基底顶面附近的漏区相对,基底上支持的门极处于源区跟漏区之间。该BS-LDMOS 器件还有一个结合的陷阱-沟道区,其在半导体基底中设置的深度完全低于体区,后者设置在接近顶面的源区附近,其中结合的陷阱-沟道区起埋置的源-体接点功能,从而将体区和源区电连接到基底的底面,起源电极的功能。将其漂移区设置在门极下面靠近顶面,跟源区有一段距离,并且延伸到包围漏区。该结合的陷阱-沟道区延伸到漂移区下面,并且该结合的陷阱-沟道区具有的掺杂剂的传导率跟漂移区的相反且补偿了漂移区,来减小源-漏电容。
申请公布号 TW200816484 申请公布日期 2008.04.01
申请号 TW096134596 申请日期 2007.09.14
申请人 万国半导体股份有限公司 发明人 雷燮光;弗兰克斯 赫尔伯特;安荷 叭剌
分类号 H01L29/78(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 美国