| 摘要 |
本发明系有关一种用以撑持一基材的装置，其可以选择性地并且均一地同时处理该基材上制作了光刻图案的前表面与该基材上未制作光刻图案的背表面。该用以撑持基材的装置包含一非接触式导引部将气体供应到基材以将该基材浮起一预先设定的距离；一上举部撑持该非接触式导引部，该上举部将该非接触式导引部沿垂直方向上举或下放；一接触式导引部将基材固定在上部，该接触式导引部为一环形形状以围绕该非接触式导引部并且该非接触式导引部以同心圆方式配置；以及一旋转部撑持并转动该接触式导引部。当该非接触式导引部的位置较该接触式导引部低时，该接触式导引部撑持该基材，当该非接触式导引部的位置较该接触式导引部高时，该基材会浮起在该非接触式导引部上，因此，可以选择性地对基材的前表面和背表面进行处理。 |
