| 摘要 |
〔发明课题〕本发明提供一种能够有效防止涂膜产生不均匀的基板保持装置。〔解决手段〕基板保持装置，具有：形成复数吸附孔 1b 及吸附孔间连通的沟槽 1a，可吸附保持着基板 2 的工作台 1 ；于一端侧形成和上述工作台的吸附孔连通，于另一端侧形成和真空源连通的真空阀 5；于一端侧形成和上述工作台的吸附孔连通，于另一端侧形成和大气连通的大气阀 6；于一端侧形成和上述工作台的吸附孔连通，于另一端侧形成和吹扫气体源连通的吹扫气体阀 7；及真空阀、大气阀和吹扫气体阀的开闭控制用的阀控制装置 8。将基板吸附保持在工作台上时，利用真空吸附使基板保持在工作台上，然后将工作台的吸附孔转换成大气状态，于大气状态下执行各种处理。 |
