具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室

摘要

本发明之具体实施例包括一负载锁定室，该负载锁定室具有一分离间隙阀门密封隔间。在一具体实施例中，一负载锁定室包括一主要组合件、一第一间隙阀门密封隔间及一密封组合件。主要组合件之中形成一基板输送腔。贯穿主要组合件形成二基板进接埠，并将该二基板进接埠流体耦合至腔。第一间隙阀门密封隔间具有一孔，该孔系排列邻近于该些进接埠之一者并与之成一直线。第一间隙阀门密封隔间和主要组合件分离。密封组合件系将第一间隙阀门密封隔间耦合至主要组合件。