八边形传输室

摘要

本发明系揭露一种于一群集式工具（cluster tool）中处理基材之方法及设备。群集式工具之传输室系具有额外腔室（即，加载锁定室、缓冲室及处理室）可附接于其上之八个位置。传输室可以由三个独立部分所形成。部分为矩形，其他二个部分为梯形。梯形部分系各具有三个狭缝，基材可移动通过该些狭缝而供处理。传输室的部分可具有可移除的上盖，其系允许技术人员易于进出传输室。