半导体元件及其制造方法

摘要

一种半导体元件系由基材、闸极电极、一对第一掺杂区、一对第二掺杂区及至少一虚设图案所组成。其中，闸极电极系位于基材上。第一掺杂区系位于基材中，并分别毗邻闸极电极之两侧。第二掺杂区则分别位于第一掺杂区中。虚设图案系位于第一掺杂区上方，并暴露出第二掺杂区。