具有可调式电导体之装置及调整可调式电导体之方法

摘要

本发明系用于半导体制程中之一压力反应室之一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈之形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括二部分，该等部份可选择地由不同的功率或频率所驱动，因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的电浆密度分布可选择地被控制。