| 摘要 |
本发明提供一种用于一静止或行进物体之流体处理且在没有接触的情况下由流体缓冲垫感应力来支撑该物体的非接触支撑设备。该设备包含：具有支撑表面的一个或两个大体上相对的非接触平台，每一支撑表面包含复数个基本单元中之至少一者，每一单元具有复数个压力出口及复数个流体抽出通道。该等压力出口中之每一者通过一流体限制器流体地连接至一高压流体供给，该等压力出口提供加压流体以产生用于维持一在该物体与该平台之该支撑表面之间的流体缓冲垫的压力感应力。该流量限制器在特征上表现流体回复弹簧行为。复数个流体抽出通道中之该至少一者中的每一者具有一入口及出口以用于局部地平衡复数个基本单元中之该至少一者的质量流量。该平台支撑表面中之至少一或多个区被指定为连接至一流体储集器的处理区，该流体储集器通过压力出口提供处理该物体所需的处理流体及通过该等流体抽出通道抽出流体。 |
