PROCEDIMIENTO DE FORMACION DE UNA CAPA DE CARBURO DE SILICIO SOBRE UNA LAMINA DE SILICIO.

摘要

Procedimiento de formación de una capa de carburo de silicio (3, 4) sobre una oblea de silicio (1) caracterizado por comprender las etapas siguientes: depositar una máscara anticarburación (2) sobre la pastilla según un motivo sensiblemente en damero; proceder a una etapa de carburación en condiciones tales que la tensión residual sea de tipo en extensión o respectivamente en compresión; eliminar la máscara; proceder a una etapa de carburación en condiciones tales que la tensión residual sea de tipo en compresión o respectivamente en extensión.