发明名称 PROCEDIMIENTO PARA EL TRATAMIENTO DE SUPERFICIE POR PLASMA Y DISPOSITIVO PARA LA REALIZACION DE DICHO PROCEDIMIENTO.
摘要 Procedimiento de tratamiento por plasma de una superficie que se va a tratar de un objeto o partículas, que comprende la creación de un plasma y la aplicación del plasma contra la superficie que se va a tratar, caracterizado porque la superficie que se va a tratar es excitada para crear un movimiento ondulatorio relativo entre el plasma y la superficie que se va a tratar, energía para la excitación de la superficie que se va a tratar procedente del procedimiento de creación de plasma.
申请公布号 ES2294112(T3) 申请公布日期 2008.04.01
申请号 ES20020708589T 申请日期 2002.03.26
申请人 APIT CORP. SA 发明人 KOULIK, PAVEL;SAMSONOV, MICKHAIL;CHEREPANOV, ALEXANDER;PETROV, EVGUENII
分类号 H01J37/32;H05H1/24;B08B7/00;B65D23/02;B65D23/08;B65D25/34;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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