发明名称 |
PROCEDIMIENTO PARA EL TRATAMIENTO DE SUPERFICIE POR PLASMA Y DISPOSITIVO PARA LA REALIZACION DE DICHO PROCEDIMIENTO. |
摘要 |
Procedimiento de tratamiento por plasma de una superficie que se va a tratar de un objeto o partículas, que comprende la creación de un plasma y la aplicación del plasma contra la superficie que se va a tratar, caracterizado porque la superficie que se va a tratar es excitada para crear un movimiento ondulatorio relativo entre el plasma y la superficie que se va a tratar, energía para la excitación de la superficie que se va a tratar procedente del procedimiento de creación de plasma.
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申请公布号 |
ES2294112(T3) |
申请公布日期 |
2008.04.01 |
申请号 |
ES20020708589T |
申请日期 |
2002.03.26 |
申请人 |
APIT CORP. SA |
发明人 |
KOULIK, PAVEL;SAMSONOV, MICKHAIL;CHEREPANOV, ALEXANDER;PETROV, EVGUENII |
分类号 |
H01J37/32;H05H1/24;B08B7/00;B65D23/02;B65D23/08;B65D25/34;H01L21/304;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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