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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100818019(B1) 申请公布日期 2008.03.31
申请号 KR20070061562 申请日期 2007.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;H01L21/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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