| 发明名称 |
METHOD OF CONTROLLING ELECTROSTATIC LENS AND ION IMPLANTATION APPARATUS |
| 摘要 |
<p>METHOD OF CONTROLLING ELECTROSTATIC LENS AND ION IMPLANTATION</p> |
| 申请公布号 |
SG140444(A1) |
申请公布日期 |
2008.03.28 |
| 申请号 |
SG20030033503 |
申请日期 |
2000.11.08 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
IWASAWA KOJI |
| 分类号 |
H01J37/21;C23C14/48;G01Q30/02;G01Q60/44;G21K1/08;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/21 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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