| 发明名称 |
Messvorrichtung für die Messung des Transmissionsgrads einer Beschichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502004006191(D1) |
申请公布日期 |
2008.03.27 |
| 申请号 |
DE200450006191T |
申请日期 |
2004.06.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG |
发明人 |
SCHROEDER, JUERGEN |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B7/06;G01B11/06;G01B11/28;G01N21/55;G01N21/59;G01N21/84;G01N21/958 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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