| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung für lokale Oberflächenanalyse |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60132788(D1) |
申请公布日期 |
2008.03.27 |
| 申请号 |
DE20016032788 |
申请日期 |
2001.12.06 |
| 申请人 |
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW |
发明人 |
VANDERVORST, WILFRIED |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N1/32;G01N19/06;G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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