Gerät und Prozess zur Gasphasenbeschichtung,申请号DE2001120295-传众专利搜索

发明名称	Gerät und Prozess zur Gasphasenbeschichtung
摘要
申请公布号	DE10120295(B4)	申请公布日期	2008.03.27
申请号	DE2001120295	申请日期	2001.04.25
申请人	SHOWA DENKO K.K.	发明人	UDAGAWA, TAKASHI
分类号	C23C16/18;C30B25/18;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;H01L33/06;H01L33/32;H01L43/06;H01L43/14;H01S5/323;H01S5/343	主分类号	C23C16/18
代理机构		代理人
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