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Gezeigt wird eine Einrichtung 32 zum Abtasten der Oberfläche einer Probe 20, die mit einer Flüssigkeit 22 bedeckt ist. Die Einrichtung umfaßt eine Sonde 12, die an einem Ende eine Spitze 14 aufweist, Mittel 24 zum Bewegen der Sonde 12 und der Probe 20 relativ zueinander, eine Lichtquelle 26, eine Fokussiervorrichtung 48, die Licht von der Lichtquelle 26 auf eine in der Flüssigkeit 22 befindliche Stelle der Spitze 14 fokussiert, und einen Detektor 30 zum Detektieren von Licht, welches von der Spitze 14 gestreut wird. Auf dem Weg des Lichtes zwischen der Lichtquelle 26 und der Spitze 14 befindet sich eine Grenzfläche 56, an der das Licht in die Flüssigkeit 22 eintritt, wobei die Grenzfläche ortsfest bezüglich der Sonde 12 ist.
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