发明名称 Verfahren und Vorrichtung und deren Verwendung zur Prüfung des Layouts einer elektronischen Schaltung
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung des Layouts einer elektronischen Schaltung eines Halbleiterbauelementes, insbesondere eines DRAM-Chips, wobei a) in einer Abdeckungsprüfung (A) mindestens aus einer Zellenliste (11) und mindestens einem Layout (10) automatisch eine Einteilung der Zellen im mindestens einen Layout (10) in Umgebungen der Zellen ermittelt wird, wobei die Umgebungen derart definiert sind, dass Zellen des mindestens einen Layouts (10), deren Schnittstellen zu anderen Zellen identisch sind, einer Umgebung zugeordnet werden, b) die Informationen über die Umgebungen in einer Zellen-Datenbank (LibOut) (13) gespeichert werden und anschließend c) eine Überprüfung eines zu prüfenden Layouts dadurch erfolgt, dass in einem PreDRC-Schritt (B) ein Vergleich zwischen dem zu prüfenden Layout und Informationen der Zellen-Datenbank (13) erfolgt, wobei automatisch Übereinstimmungen und Unterschiede ermittelt werden.
申请公布号 DE102006037162(A1) 申请公布日期 2008.03.27
申请号 DE200610037162 申请日期 2006.08.01
申请人 QIMONDA AG 发明人 LUDWIG, BURKHARD;MUELLER, UWE
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/768 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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