用于光刻胶的主体成膜树脂及其制备方法和应用

摘要

一种用于光刻胶的主体成膜树脂，其制备方法为：1.将单体N－取代甲基丙烯酰胺和单体N－取代马来酰亚胺溶于溶剂制成均相溶液；2.在该溶液中加入自由基聚合引发剂，在一定温度下聚合，然后倒入沉淀剂中析出聚合物沉淀，抽滤干燥，得粗产物；3.将该粗产物重新溶于溶剂再倒入沉淀剂中沉淀，抽滤干燥即得本发明的共聚物树脂。其应用方法为：将共聚物树脂与感光剂、添加剂及溶剂复配后，经超滤膜过滤即制成本发明的光刻胶。该光刻胶具有分辨率高、与基体材料附着力好、抗干蚀刻能力强外，还具有很好的耐高温性能。

主权项

1.一种用于光刻胶的主体成膜树脂，其特征是：这种树脂是N-取代甲基丙烯酰胺与N-取代马来酰亚胺的共聚物树脂，并具有如下的结构单元：式中R₁＝H、NH₂、OH、COOH、OOCCH₃或COOCCH₃，R₂＝OH、H、NH₂、COOH、OOCCH₃或COOCCH₃。该共聚物树脂的数均分子量在1×10²～1×10⁸之间，分子量分布系数在1～6之间。