发明名称 一种氧化锌铁电薄膜的制备方法
摘要 本发明提供了一种氧化锌铁电薄膜的制备方法,包括以下步骤:a.清洗锌片,除去锌片表层的氧化物并使之平整;b.以0.3~0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液,阳极氧化锌片;c.取出锌片,用去离子水冲洗干净,在锌片表面获得氧化锌薄膜,该薄膜为多孔状结构,厚度可达10微米,呈现铁电性质。本发明的方法实现了氧化锌在溶液法生长过程中的锂掺杂,获得了具有铁电性质的氧化锌薄膜,简单易行,所需原料廉价,所用设备简单,制备参数容易控制,实现了氧化锌由一般的压电材料向铁电材料的转化。
申请公布号 CN101148781A 申请公布日期 2008.03.26
申请号 CN200710119652.7 申请日期 2007.07.27
申请人 北京大学 发明人 于利刚;张耿民;栾桂东;张金铎;郭等柱
分类号 C30B29/48(2006.01);C30B29/16(2006.01);C30B30/02(2006.01) 主分类号 C30B29/48(2006.01)
代理机构 北京君尚知识产权代理事务所 代理人 周政
主权项 1.一种氧化锌铁电薄膜的制备方法,包括以下步骤:a.清洗锌片,除去锌片表层的氧化物并使之平整;b.以0.3~0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液,阳极氧化锌片,在锌片表面形成锂掺杂的氧化锌薄膜;c.取出锌片,用去离子水冲洗干净,在锌片表面获得氧化锌铁电薄膜。
地址 100871北京市海淀区颐和园路5号