一种非对称透射标记组合及其对准方法

摘要

本发明公开了一种非对称透射标记组合及其对准方法，通过采用非对称对准标记组合进行边缘捕获和粗精结合的掩模对准扫描方法，获得对准辐射信息，用获得对准辐射信息和工件台及掩模的位置信息，逐级获得高精度的对准位置，建立掩模图形相对工件台坐标系的空间位置。采用本发明的标记组合及其对准扫描方法，可提高光刻机的对准精度和对准扫描效率。

主权项

1.一种非对称透射标记组合，分布在掩模板和工件台基准板上，其特征在于：所述的非对称透射标记组合包括五个对准标记分支，其中，第一和第二对准标记分支分布在所述掩模板上，第三、第四和第五对准标记分支分布在所述工件台基准板上，且第三和第五对准标记分支分布在第四对准标记分支的两对边；第一和第五对准标记分支分别由一组以上方向相同的光栅构成，第二和第三对准标记分支分别由一组以上与第一和第五对准标记分支中光栅方向垂直的光栅构成，第四对准标记分支为方形透射孔。