清洗方法

摘要

通过用液化气体或超临界流体清洗介质清洗具有凹部构造的部件来提高清洗效果。在去除附着在具有凹部构造的部件(31)的至少上述凹部构造表面的附着物的清洗方法中，使用超临界气体或液化气体使清洗介质不遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。

主权项

1.一种利用加压流体的清洗方法，在通过使加压流体与被清洗物接触以去除附着在上述被清洗物表面的杂质的清洗方法中，对于浸渍到加压第1流体中的上述被清洗物，接触密度不同于上述第1流体的加压第2流体即超临界流体来进行清洗时，不改变上述第1流体的相态，而把作为上述第2流体的超临界流体通过配置于上述被清洗物附近的喷出部与上述被清洗物接触，从而去除附着在上述被清洗物表面的杂质。