发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OR INSULATOR/METALLIC LAMINAR COMPOSITE CLUSTER
摘要
申请公布号 EP1486583(A4) 申请公布日期 2008.03.26
申请号 EP20030743015 申请日期 2003.01.27
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY 发明人 HIHARA, TAKEHIKO;SUMIYAMA, KENJI;KATOH, RYOJI
分类号 B01J19/00;C23C14/34;H01L51/40 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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