一种提高金属磁性多层膜矫顽力的方法

摘要

本发明提供了一种用反铁磁材料提高金属磁性多层膜矫顽力的方法，利用磁控溅射仪，在清洗干净的玻璃基片沉积铂Pt/[钴铬CoCr/铂Pt]₅/铁锰FeMn/铂Pt多层膜。本发明的优点在于：薄膜的厚度较小，同时又具有良好的垂直磁各向异性和较高的矫顽力，比较适合应用于CoCr合金薄膜的超高密度垂直磁记录。此外，沉积后的薄膜无需进行后退火处理，所以它还具有成本低，制备简单等优点，适用于未来的生产。

主权项

1.一种提高金属磁性多层膜矫顽力的方法，其特征是在清洗干净的玻璃基片依次沉积铂Pt(50～500)/[钴铬CoCr(5)/铂Pt(7～25)]5/铁锰FeMn(25～500)/铂Pt(20～50)，所述的玻璃基片表面外加垂直于膜面方向的磁场，大小为100～3000 Oe，所述的基片温度为100～300℃，所述的FeMn层的沉积温度为10～50℃，溅射室本底真空度为1×10-5～7×10-5Pa，溅射时氩气压为0.9～1.6Pa。