传输和加工衬底的装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于传输和加工衬底包括晶片的装置和方法，以与现在使用的系统相比，在合理的成本的情况下有效地提高生产能力。关键因素是使用了沿着加工室侧面的传输室，用于通过装载锁将衬底供给到受控气氛中，然后使衬底沿着作为到达加工室的路径的传输室行进，然后在加工室中加工之后将衬底转移出受控气氛。

主权项

1.一种衬底加工系统，包括：进入室，用于将独立的衬底从大气环境供给到受控环境中；退出室，用于将衬底从受控环境供给到大气环境中；衬底转移室，其位于所述受控环境内，以在所述进入室接收衬底并沿着所述衬底转移室转移衬底；多个加工室，沿着所述衬底转移室设置，用于加工衬底，所述衬底转移室在所述加工室之间提供线性路径；支撑臂，在沿着所述衬底转移室行进期间以及在从所述进入室到所述加工室传送期间用来运送衬底；第一驱动器，作用于所述衬底转移室内的支撑臂上，以使所述支撑臂线性运动；以及第二驱动器，作用于所述衬底转移室内的所述支撑臂上，以利用线性运动和旋转运动的结合将所述支撑臂从所述衬底转移室转移进至少一个加工室；所述转移室提供一个轨道，以在加工之后将衬底重新引导进所述退出室从而转移返回到大气环境。