发明名称 PERMANENT RESIST COMPOSITION, CURED PRODUCT THEREOF, AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP1730592(A4) 申请公布日期 2008.03.26
申请号 EP20050713440 申请日期 2005.02.10
申请人 MICROCHEM CORP.;NIPPON KAYAKU CO., LTD. 发明人 WEBER, WILLIAM;MORI, SATOSHI;HONDA, NAO;JOHNSON, DONALD;DOCANTO, MANUEL
分类号 G03F7/038;C08G59/32;C08G59/68;G03C1/492;G03F7/00 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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