| 发明名称 | 用于钼的化学蚀刻溶液 | ||
| 摘要 | 一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％-35％、硝酸5％-25％、水40％-90％；所述的硫酸浓度为95％-98％、硝酸的浓度为65％-68％。它还可以含有一种添加剂乙二胺四乙酸二钠，该添加剂的浓度为0.01-1g/L。本发明的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。 | ||
| 申请公布号 | CN100376721C | 申请公布日期 | 2008.03.26 |
| 申请号 | CN200510044853.6 | 申请日期 | 2005.09.21 |
| 申请人 | 中国海洋大学 | 发明人 | 徐海波;王佳;王伟;姜应律;王燕华 |
| 分类号 | C23F1/26(2006.01) | 主分类号 | C23F1/26(2006.01) |
| 代理机构 | 青岛海昊知识产权事务所有限公司 | 代理人 | 崔清晨 |
| 主权项 | 1.一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％-35％、硝酸5％-25％、水40％-90％；所用的硫酸浓度为95％-98％、硝酸的浓度为65％-68％。 | ||
| 地址 | 266003山东省青岛市市南区鱼山路5号 | ||