光束切换/调节装置及其制造方法

摘要

光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。

主权项

1.一种光束切换和调节装置，包括：光导衬底，具有一个或多个输入口；多个输出口；形成在光导衬底一个表面上的一个或多个反射镜接收凹进；和光导，根据一个或多个反射镜相对于一个或多个反射镜接收凹进的前进和后退将输入到一个或多个输入口的光束导向多个输出口中的选定输出口；和致动器衬底，具有上述一个或多个反射镜以及一个或多个设置在对应于一个或多个反射镜的位置上的致动器，使得这些致动器支撑对应的反射镜，并且根据信号将这些对应的反射镜定位到致动器衬底的一个表面一侧上相对远离该表面的第一位置或相对接近该表面的第二位置；其中所述第一位置是致动器没有被启动时所述反射镜的位置，且所述第二位置是致动器被移动力移动时所述反射镜的位置，当反射镜位于第二位置时，所述反射镜完全处于所述反射镜接收凹进之外，对齐并结合光导衬底和致动器衬底，使得一个或多个反射镜的第一位置是相对于一个或多个反射镜接收凹进的前进位置，并且使得一个或多个反射镜的第二位置是相对于一个或多个反射镜接收凹进的后退位置，在光导衬底上形成用于对齐光导衬底和致动器衬底的第一校准标记，和在致动器衬底上形成用于对齐光导衬底和致动器衬底的第二校准标记。