| 发明名称 | MgO蒸镀材料及其制造方法 | ||
| 摘要 | MgO蒸镀材料，其中含有MgO纯度在99.0％或以上而且相对密度在90.0％或以上、硫S含量为0.01～50ppm、氯Cl含量为0.01～50ppm、氮N含量为0.01～200ppm、磷P含量为0.01～30ppm的多晶颗粒。在使用电子束蒸镀法将该材料蒸镀时，几乎不会发生喷溅，而且可以提高形成的MgO膜的膜特性。 | ||
| 申请公布号 | CN100376713C | 申请公布日期 | 2008.03.26 |
| 申请号 | CN02827735.X | 申请日期 | 2002.11.29 |
| 申请人 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 发明人 | 樱井英章;丰口银二郎;黑光祥郎 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C04B35/00(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 郭煜;王景朝 |
| 主权项 | 1.MgO蒸镀材料，其特征在于，其中含有MgO纯度在99.0％或以上而且相对密度在90.0％或以上、气化成分的含量为0.01～200ppm的多晶颗粒，所述多晶颗粒具有气化成分含量低的粒状部分、和比该粒状部分气化成分含量高的晶界部分。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||