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发明名称 DEVICE FOR STORING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1902464(A2) 申请公布日期 2008.03.26
申请号 EP20060752907 申请日期 2006.07.06
申请人 TEC-SEM AG 发明人 JAEGER, ERICH;BALG, CHRISTIAN
分类号 H01L21/673;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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