基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具

摘要

本发明公开一种基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具。该基板支承用槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，以增加该槽棒的支承强度，该支承板的远离该柱状本体的末端具有突出部用以托持基板，该突出部是直径大于支承板厚度的圆柱体且沿与其对应的支承板的宽度方向延伸使得该突出部的长度方向与该支承板的宽度方向一致。

主权项

1.一种基板支承用槽棒，其特征在于：该槽棒包括一树脂体与一金属棒，该树脂体包括一具有轴向贯穿孔的柱状本体与自该本体一侧以间隔平行突出的多个支承板，该金属棒插设在该本体的贯穿孔内，该支承板的远离该柱状本体的末端具有突出部用以托持基板，该突出部是直径大于支承板厚度的圆柱体且沿与其对应的支承板的宽度方向延伸使得该突出部的长度方向与该支承板的宽度方向一致。