| 发明名称 | FeS/MoS<SUB>2</SUB>纳米多层膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种复合处理技术制备的FeS/MoS<SUB>2</SUB>纳米多层膜，其是由Fe层和Mo层交替沉积在基体上，然后再通过离子渗硫处理制成的；所述FeS层和MoS<SUB>2</SUB>层厚度之比为0.95～1.05，双子层厚度为5～20nm，纳米多层膜总厚度为1～3μm。本发明所述FeS/MoS<SUB>2</SUB>纳米多层膜在摩擦系数、磨损量和抗擦伤载荷等方面，与现有的纳米多层膜相比摩擦学性能优异，实用性更强，而且具有极为优良的固体润滑性能，即“超滑性”，可用于机械装备各种摩擦表面，尤其是精密配合表面减轻摩擦，改善润滑条件。 | ||
| 申请公布号 | CN101148761A | 申请公布日期 | 2008.03.26 |
| 申请号 | CN200610113330.7 | 申请日期 | 2006.09.22 |
| 申请人 | 王海斗;刘家浚;徐滨士 | 发明人 | 王海斗;刘家浚;徐滨士 |
| 分类号 | C23C28/00(2006.01);C23C14/14(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C8/08(2006.01) | 主分类号 | C23C28/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程凤儒 |
| 主权项 | 1.一种复合处理技术制备的FeS/MoS2纳米多层膜，其特征在于，其是在基体上通过双靶射频溅射交替沉积Fe层和Mo层制成Fe/Mo纳米多层膜，然后再通过离子渗硫处理该Fe/Mo纳米多层膜制成的。 | ||
| 地址 | 100072北京市丰台区杜家坎21号装甲兵工程学院院士办 | ||