压电振子的制造方法

摘要

在例如音叉型水晶振子的情况下，通过蚀刻，在作为水晶振子的掩膜的金属膜上形成水晶振子的槽部相对应的开口部时，金属膜的外缘被蚀刻成波浪状。因此，在进行湿蚀刻形成水晶振子的槽部时，水晶振子对应于上述金属膜而形成，产生外观不良和尺寸不良。本发明在对金属膜形成水晶振子的槽部相应的开口部之前，以比水晶振子的外形小的方式形成金属膜的外形，之后再进行金属膜的蚀刻和水晶振子的蚀刻。具体而言，优选水晶振子的外缘比金属膜的图案尺寸(d1)在一侧小3μm～12μm。由此，在水晶晶片上形成槽部时，水晶片对应于具有直线棱线的金属膜的外形而变小，因此能够抑制外观不良和尺寸不良。

主权项

1.一种压电振子的制造方法，该压电振子在从基部伸出的多个振动臂部上各自形成有槽部，其特征在于，包括以下工序：在作为压电基板的基板表面上形成金属膜的工序；在该金属膜的表面上，形成以残留压电振子的形状部分的方式图案化的第一抗蚀膜，然后对金属膜进行蚀刻，由此形成图案的工序；将所述第一抗蚀膜完全剥离的工序；在所述金属膜的表面上形成第二抗蚀膜的工序，该第二抗蚀膜至少在与振动臂部相当的部位，以其边缘部位于比所述金属膜的图案的边缘部更内侧3μm～12μm的位置的方式形成，且具有与振动臂部的槽部相当的部分开口的图案；接着使所述基板与蚀刻液接触，以所述金属膜为掩膜形成压电振子的外形的工序；以所述第二抗蚀膜为掩膜，除去与所述振动臂部的槽部相当的部分的金属膜，并除去比所述第二抗蚀膜的外形更外侧的金属膜的蚀刻工序；和使所述基板与蚀刻液接触，以所述金属膜为掩膜，在所述多个振动臂部形成各槽部，并除去振动臂部上的比金属膜的边缘部向外侧突出的部分，由此将该振动臂部的外形蚀刻为与所述金属膜的外形相应的形状的工序。