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发明名称
Composition for polishing semiconductor layers
摘要
申请公布号
EP1505133(B1)
申请公布日期
2008.03.26
申请号
EP20040254467
申请日期
2004.07.27
申请人
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC.
发明人
LIU, ZHENDONG;QUANCI, JOHN
分类号
B24B37/00;C09G1/00;C09G1/02;C09G1/04;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/321
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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