| 主权项 |
1.一种气浮单元,是从搬运面喷出空气使被浮起物 浮起,其特征为:设有喷嘴,可从单元的搬运面朝向 被浮起物的下面及从单元端部朝向中央部喷出空 气。 2.一种搬运方法,对于从搬运面喷出空气使被浮起 物浮起之气浮单元,其特征为:从气浮单元的搬运 面朝向被浮起物的下面及从气浮单元端部朝向中 央部喷出空气,并搬运被浮起物。 3.一种气浮搬运装置,是从配置于平面基板的下方 及/或是侧方的气浮单元喷出空气使平面基板浮起 ,并藉由送出机构朝前方移送,其特征为:在位置于 前述平面基板的搬运方向的先端的气浮单元的下 流端附近,设有使前述平面基板的浮起量变大的机 构。 4.如申请专利范围第3项的气浮搬运装置,其中,前 述浮起量变大的机构,是空气喷出量大的喷嘴。 5.如申请专利范围第3项的气浮搬运装置,其中,前 述浮起量变大的机构,是具有与前述平面基板的搬 运方向逆方向的流动成分的喷嘴。 6.如申请专利范围第3项的气浮搬运装置,其中,前 述浮起量变大的机构,是从气浮单元的下流端朝向 中央喷出空气的喷嘴。 7.如申请专利范围第3项的气浮搬运装置,其中,前 述浮起量变大的机构,是设在气浮单元的下流端附 近的分开形成的喷出喷嘴。 8.如申请专利范围第3项的气浮搬运装置,其中,前 述气浮单元是复数设置,该浮起单元的任一的浮起 力是与其他的浮起单元的浮起力不同。 图式简单说明: 第1图,是显示本发明的气浮搬运装置的第1实施例 的立体图。 第2图,是显示同气浮搬运装置的第2实施例的立体 图。 第3图,是显示同气浮搬运装置的第3实施例的立体 图。 第4图,是显示由气浮搬运装置搬运刚性小的平面 基板的情况的说明图。 第5图,是显示由气浮搬运装置进行高度调整不充 分的情况的说明图。 第6图,是显示对于气浮搬运装置增加从全喷嘴的 空气吐出量的情况的说明图。 第7图,是显示本发明的气浮搬运装置的第4实施例 的立体图。 |
